SJT 31097-1994 TDH-4C4TO型去飞边机完好要求和检查评定方法
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ID： |
F2CD17A5D5AA4EADA0A8CFC768F9B45D |
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文件大小(MB)： |
0.24 |
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页数： |
2 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,TDH 4c4To型去飞边机,完好要求和检查评定方法,SJ/T 31097—94,主题内容与适用范围,本标准规定了半导体集成电路生产用TDH-4C4TO型去飞边机的完好要求和检査、评,定方法,本标准只适用于TDH-4C4TO型去飞边机,2完好要求,2.!主要性能指标,a.传递速度:1.2m/min,可调;,b.夹具宽度调整误差:士 1mm；,c.喷咀移动数（往复）：145土5次/min；,d,喷咀移动幅度:40mm；,e.集尘能力（粉尘粒度10k以下）： 3kg/h0,2.2操作系统,2.2-1各操纵开关、按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,2.2-2制动、限位装置齐全,灵敏、可靠,2.3传动系统,2- 3-1机械传动键轮、链条运转正常;键条张紧度适宜,传动平稳,2.3- 2引线框传送导轨位置正确,无卡、滞现象,2-4气路系统,2.4- 1各气缸、电磁阀性能良好,工作平稳、行程到位,不应有停滞和爬行现象,2.4-2气动系统各元件动作灵敏、可靠,2.4 -3压缩空气管道、真空管道整齐、清洁,各接头、阀门元件之间连接牢固,密封性好,无漏,气现象,2-4.4各喷枪固定位置准确、牢固可靠,2-4-5各气体压カ表、流量表性能良好,指示灵敏、准确,误差在规定范围内,且有有效期内校,验合格证,2.5 电气系统,2. 5-1电气性能良好、运行可靠,保护装置齐全、有效,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,一 1 —,SJ/T 31097-94,2.5.2 外部导线布线整齐,绝缘层无破裂、老化、漏电现象,2.5.3 电气控制箱内布线整齐、清洁;各指示灯齐全、无缺损,指示正确、可靠;各种线路标志,齐全、明显、正确,各端子连接牢固无松动,2.5- 4各种接触器、继电器等器件性能灵敏,动作可靠;线路板整洁,接触可靠,2. 5-5各光电传感器灵敏、可靠、无误动作,2.5 -6各种仪表完整、无损伤,指示灵敏、可靠,误差在规定范围内,有有效期校验合格证,2.6 附属装置,2. 6-1粉末发生器性能可靠,工作稳定,集尘能力达到规定技术指标要求,2- 6.2粉末贮存器密封性好,吸尘可靠,无泄漏,2-7安全防护,2. 7-1设备保护盖板、挡尘板齐全、无损坏,固定牢固、可靠,作用良好,2.7- 2各种联锁、报警装置性能稳定,灵敏、可靠,2.7 -3设备接地可靠,标志明显,2.8 维护保养,2. 8.1粉末发生器应及时清洗检测,保持良好性能,粉末贮存装置应按时清理,检査密封性,能,2. 8- 2其它按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检查方法,完好要求所列内容中,凡有参数要求和条款,应运用相应仪表检测;其它在设备现场,采用,主观法检査,3.2 评定方法,3. 2-1完好要求中,2.1各项指标和2. 2. 2,2. 5. 5、2. 6.1,2. 6. 2.2. 7.1~2. 7. 3为主要项目,其余为次要项目,3.2-2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:顾军建、张家明、吴正伟,2……
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